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序號 特征 4吋、5吋、6吋襯底參數(shù)
1 摻雜劑

N,N+:Antimony,Arsine,phosporus

P,P+:Boron

2 晶向 <100>,<111>,<110>
3 電阻率 0.001～1.0～100～10000Ω?cm
4 電阻率均勻性 ≤25
5 厚度 150～5000μm
6 總厚度變化 ≤5
7
 局部平整度 ≤1.5
8 翹曲度/彎度 ≤35
9 氧含量 8.0～18.0
10 碳含量 ＜1.0
11 位錯/氧化層錯 ＜100
12 滑移線 NONE
13 表面：霧、劃傷、凹坑、桔皮、裂紋、鴉爪、崩邊、沾污
 NONE
14 背面：崩邊、劃傷、凹坑、裂紋 NONE
15 表面顆粒


≥0.2um的≤30

≥0.5um的≤3

≥0.3um的≤10


16 表面金屬 ≤5E10

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